Kategorie: / Technika:

Automatizovaný spektroskopický elipsometr SENDURO

Automatizovaná měřící stanice pro mapování spektroskopickou elipsometrií 

SENDURO je plně automatizovaná měřící stanice pro mapování spektroskopickou elipsometrii. Nevyžaduje uživatele k manuálnímu nastavení výšky a náklonu vzorku, čímž napomáhá k přesnému a opakovatelnému elipsometrickému měření. Patentované zařízení pro automatické nastavení vzorku výrazně redukuje provozní chyby, funguje na průhledných i odrazivých vzorcích a dokáže automaticky mapovat tenké vrstvy dokonce i na ohnutých waferech.

SENDURO exceluje v průmyslových aplikacích, které vyžadují vysokou prostupnost pro vzorky, snadné použití a automatické nastavení vzorku. Software SENDURO firmy SENTECH umožňuje měření tloušťky a indexu lomu jednoduchých vrstev i vrstevnatých systémů na průhledných i odrazivých substrátech. Celkový čas měření v jednom bodě netrvá více než několik vteřin i s využitím principu Step Scan Analyzer navrženého pro výbornou přesnost měření. SENTECH nabízí SENDURO se zakládací kazetou pro velikost vzorků až do průměru 300 mm (12" wafer).

SENDURO je dodáván s rozsáhlou knihovnou předdefinovaných měřících rutin pro opakované použití, které uživatel může snadno pozměnit podle svých potřeb. Software obsahuje i interaktivní mód s grafickým uživatelským rozhraním. Pro analýzu dat a zpracování komplexnějších úloh obsahuje integrovaný balík modelování, simulací a úprav dat.

Pro další informace navštivte web SENDURO nebo se obraťte přímo na nás.


Měřicí technika Morava s.r.o. | Babická 619 | 664 84 Zastávka u Brna | tel.: + 420 513 034 408 | e-mail: info@mt-m.eu

Created by> eX-press.cz