Kategorie: / Technika:

Měření tenkých filmů

Systém k měření tenkých filmů je založen na měření interference bílého světla, čímž se určí optická tloušťka. Tento interferometrický signál bílého světla je matematickými funkcemi přepočítán na optickou tloušťku. Když jsou známy materiálové konstanty n a k, lze v jednovrstvých systémech vypočítat fyzickou tloušťku.

    

Systém k měření tenkých vrstev AvaSpec dokáže měřit vrstvy od 10 nm do 50 μm s rozlišením až 1 nm. Měření tenkých filmů je často využíváno ve výrobě a zpracování waferů, kde je nutné monitorovat leptací nebo depoziční procesy. Dále se měření tenkých filmů aplikuje v oblastech, kde je potřeba měřit průhledné povlaky na kovových nebo skleněných substrátech.

Software AvaSoft-ThinFilm má rozsáhlou vestavěnou databázi konstant n a k většiny obvykle používaných materiálů a vrstev. K měření vícevrstvých materiálů je k dispozici softwarový balík TFProbe. Aplikační software AvaSoft-Thin umožňuje přímou kontrolu tloušťky filmů a díky exportu do formátu XLS do programů Excel a Process control umožňuje kombinaci s jinými aplikacemi AvaSoft.

K otestování vhodnosti přístroje je dostupný Thinfilm-standard s 2 kalibrovanými různě tlustými vrstvami SiO2 a referenční vrstvou.

Typická sestava k měření tenkých vrstev:




Komponenty použité v sestavě k měření tenkých vrstev:

 

 Spektrometr  AvaSpec-2048-USB2
Mřížka UA (200–1100 nm), DCL-UV/VIS, 100μm štěrbiny, DUV krytí, OSC-UA
Tloušťka vrstvy 10 nm – 50 μm, rozlišení 1 nm
Software  AvaLight-Thinfilm nebo TFProbe
 Světelný zdroj kompaktní deuterium-halogenový světelný zdroj AvaLight-DHc
Optické vlákno reflexní sonda FCR-7UV200-2-ME UV/VIS, 2 m, SMA
Příslušenství  Thinkfilm stage k uchycení reflexní sondy
Thinfilm-standard s 2 kalibrovanými různě tlustými vrstvami SiO2
a referenční vrstva

 

Pro více informací navštivte web Avantes nebo nás kontaktujte.


Měřicí technika Morava s.r.o. | Babická 619 | 664 84 Zastávka u Brna | tel.: + 420 513 034 408 | e-mail: info@mt-m.eu

Created by> eX-press.cz