Kategorie: / Technika:

SIMS/SNMS spektrometr INA-X

Kvantitativní hloubkové profilování 

Hmotnostní spektrometr sekundárních neutrálů (secondary neutral mass spectrometry - SNMS) INA-X poskytuje kvantitativní informace o složení povrchu i se stopovými kontaminacemi (citlivost až 1 ppm). Díky postupnému odprašování povrchu lze poměrně rychle získat hloubkový profil složení s rozlišením lepším až 1 nm a spolehlivou kvantifikací.

Klíčová vlastnost techniky SNMS a její výhoda oproti SIMS je striktní oddělení mezi emisí a ionizací rozprášených částic z povrchu. Tímto se eliminuje efekt matrice způsobující preferenční ionizaci některých fragmentů v metodě SIMS. Při využití následné ionizace pomocí elektronového plynu je již pravděpodobnost detekce závislá jen na typu fragmentu a ji lineárně kalibrovat. INA-X elegantně používá ECR výboj (elektron cyclotron resonance - ECR) jako zdroj iontů pro rozprašování i jako zdroj elektronů pro kompenzaci náboje na povrchu a ionizaci rozprášených fragmentů.

SIMS/SNMS spektrometr INA-X je vhodný pro analýzu vodivých i izolujících povrchů, typicky nalézá uplatnění v hloubkovém profilování vrstev a multivrstev, studiu rozhraní a překrytých (buried) struktur. Díky vysoké citlivosti této metody lze studovat i dopanty, nečistoty a kontaminace.

Pro více informací navštivte web výrobce INA-X, prohlédněte brožuru, nebo kontaktujte přímo nás.


Měřicí technika Morava s.r.o. | Babická 619 | 664 84 Zastávka u Brna | tel.: + 420 513 034 408 | e-mail: info@mt-m.eu

Created by> eX-press.cz