Kategorie: / Technika:

nanoPVD

Kompaktní, stolní PVD systém pro napařování nebo naprašování

Moorfield uvádí na trh řadu přístrojů nanoPVD pro fyzikální depozici odvozených od designu vlajkové řady MiniLab, ale v kompaktním stolním provedení. Přístroje nanoPVD byly vyvinuty ve spolupráci se špičkovými akademickými skupinami a jsou optimalizované pro snadnost použití, skvělý poměr ceny a užitné hodnoty a efektivní využití prostoru v laboratoři. Díky tomu jsou ideálním řešením tam, kde jsou vedle nekompromisní kvality vrstev navíc vyžadovány nízké nároky na prostor a cenu. Modely nanoPVD pokrývají jak magnetronové naprašování (S10A a S10A-WA) tak i napařování (T15A), včetně nízkoteplotního.

Model nanoPVD-S10A - magnetronové naprašování s RF a/nebo DC zdroji 

nanoPVD-S10A podporuje až 3 magnetrony se standardní velikostí 2″, vybavené vodním chlazením pro dlouhodobý provoz za vysokého výkonu. Systém čerpá turbomolekulární vývěva, díky čemuž dosahuje velmi nízké kontaminace. Je jej možno provozovat v reaktivním módu s kontrolou až tří pracovních plynů. Rovněž lze používat více magnetronů současně pro ko-depozici z více terčů. Přístup do komory je přes horní víko, standardní držák umožňuje uchycení substrátů o průměru až 4″, v konfiguraci Wide-Area (WA) pak až 8″.

Klíčové vlastnosti:

• kompaktní, stolní konfigurace pro až 4″ substráty
• až 3 vodou chlazené standardní 2″ terče
• až 3 procesní plyny dodávané hmotnostními průtokoměry
• DC a/nebo RF zdroje
• plně automatický provoz ovládaný přes dotykovou obrazovku, ukládání uživatelských receptů
• základní tlak nižší než 5 × 10-7 mbar
• snadný servis a řada bezpečnostních prvků
• kompatibilní s čistými prostory a ověřený výkon

Další volitelné možnosti zahrnují suché čerpání, rychlé zavzdušňování komory, výhřev a rotaci substrátu, depozici na větší substráty o průměru až 8″ a další.

Model T15A - tepelné napařování pro kovy a organické sloučeniny 

Systémy nanoPVD-T15A lze vybavit standardními odporovými zdroji pro napařování kovů i zdroji pro nízkoteplotní napařování (LTE) organických materiálů. Systém čerpá turbomolekulární vývěva, díky čemuž dosahuje velmi nízké kontaminace. Přístup do komory je přes horní víko, standardní držák umožňuje uchycení substrátů o průměru až 4″. Komora je relativně vysoká, což zlepšuje uniformitu napařených vrstev.

Klíčové vlastnosti:

• kompaktní, stolní konfigurace pro až 4″ substráty
• zdroje pro LTE napařování organických materiálů (až 4) a kovů (až 2)
• uniformní depozice díky vysokému aspect ratio
• plně automatický provoz ovládaný přes dotykovou obrazovku, ukládání uživatelských receptů
• základní tlak nižší než 5 × 10-7 mbar
• snadný servis a řada bezpečnostních prvků
• kompatibilní s čistými prostory a ověřený výkon

Další volitelné možnosti zahrnují suché čerpání, rychlé zavzdušňování komory, výhřev, posuv a rotaci substrátu, QCM a další.

Další informace a typické konfigurace najdete na webu nanoPVD, nebo nás kontaktujte.


Měřicí technika Morava s.r.o. | Babická 619 | 664 84 Zastávka u Brna | tel.: + 420 513 034 408 | e-mail: info@mt-m.eu

Created by> eX-press.cz