Kategorie: / Technika:

MiniLab Moorfield

Flexibilní modulární systémy pro vysoce kvalitní PVD

PVD systémy MiniLab od firmy Moorfield poskytují skvělý výkon při přípravě povlaků a díky flexibilitě a modularitě mohou splnit i obrovský rozsah požadavků zákazníků. Řada přístrojů MiniLab sestává z několika různých platforem, které lze vybavit všemi běžnými PVD technikami: napařování, nízkoteplotní napařování, e-beam napařování a magnetronové naprašování. Obecně je každá platforma MiniLab spojena s vakuovou komorou určité velikosti. Kromě samotné depozice tenkých vrstev lze systémy minilab vybavit i komplementárními technikami jako jsou iontové zdroje, leptací komponenty a žíhací stolky. Systémy MiniLab se světě proslavili díky své spolehlivost, kompaktní velikosti a snadnosti použití.

Hlavní vlastnosti systémů:

MiniLab 125

•  PVD depozice kovů, dielektrik i organických materiálů
•  techniky napařování, nízkoteplotní napařování, e-beam napařování a magnetronové naprašování
•  velká komora s efektivním čerpáním pomocí turbomolekulární vývěvy
•  velké dveře komory otevírané dopředu, možnost posuvných dveří (do glove-boxů) nebo zakládací komory
•  umožňuje instalaci velkých zdrojů pro pilotní produkci (až 11"), nebo několika technik současně pro flexibilní výzkumný systém
•  bezpečnostní interlocky a kompatibilita s čistými prostory
•  navržený pro snadný servis a údržbu
•  automatická i manuální kontrola procesů
•  řada volitelných možností - čerpání, plyny, stolky, shuttery, QCM...

MiniLab 090

•  navržený pro integraci do gloveboxů - snadný přístup díky předním posuvným dveřím
•  dovoluje servisní přístup ze zadní strany
•  díky velké výšce je ideální pro větší pracovní vzdálenosti nutné pro vyšší uniformitu
•  jinak má podobné volitelné možnosti jako MiniLab 125


MiniLab 080

•  ideální pro napařovací procesy
•  díky velké výšce při větší pracovní vzdálenosti dosahuje lepší uniformitu procesů
•  jinak podobný jako MiniLab 090, ovšem bez přístupu ze zadní strany, podstava ve tvaru písmene D

MiniLab 060

•  menší výška komory ideální pro magnetronové naprašování
•  jinak podobný jako MiniLab 080

MiniLab 026

•  kompaktní systém s odklopnou horní částí komory, maximálně pro 6" wafery
•  jediný systém, který lze nainstalovat do již existujících gloveboxů
•  bez možnosti zakládací komory, e-beam zdroje a některých možností stolku

Pro více informací navštivte web MiniLab, nebo nás kontaktujte.


Měřicí technika Morava s.r.o. | Babická 619 | 664 84 Zastávka u Brna | tel.: + 420 513 034 408 | e-mail: info@mt-m.eu

Created by> eX-press.cz